?
技术需求
技术交易

? ? 技术需求名称:TEOS电子化学品开发

? ?
需求类型:产品???

?
求编号:Q(XD)2018012513

? ??所属行业:新材料

?终端产品及应用范围 ?

? ??合作方式:合作开发、技术服务

?投资金 ?


? ??技术需求详述:??

? ??
? ??需求内容:研发半导体产业用的TEOS电子化学品,采用选择氧化进行器件隔离时所使用的氮化硅薄膜也是用低压CVD法,
? ? 利用氨和SiH4?或Si2H6反应面生成的,作为层间绝缘的SiO2薄膜是用SiH4和O2在400--450℃的温度下形成SiH4+O2-SiO2+2H2
? ? 或是用Si(OC2H5)4(TEOS:tetra ethoxy silanc)和O2在750℃左右的高温下反应生成的,
? ??
后者即采用TEOS形成的SiO2膜具有台阶侧面部被覆性能好的优点。


??????????????????

? ? ??+更多技术合作 ?

? ? +??技术供需发布、精准匹配
? ? +技术定制开发
? ? +技术评价
? ??+技术项目路演
? ? +技术项目投融资

? ? +技术项目产业化(资本对接、国内外渠道对接、承载地对接)

? ?联系方式:0755-82788854

?